近年來國內(nèi)對過程控制行業(yè)節(jié)能環(huán)保的要求不斷提高，越來越多的指標，已經(jīng)從粗略估算發(fā)展到需要定量分析，很多原料、排量需要得到高精度的計量與控制。適用于多種應(yīng)用場合的氣體質(zhì)量流量控制器是高校科研院所和廣泛的工業(yè)過程自動化控制中不可缺少的設(shè)備。

氣體質(zhì)量流量控制器是通過調(diào)節(jié)閥門大小開度來進行控制氣體流量大小的專用閥門，用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，其性能指標的好壞直接影響到氣體流量控制精密度和準確度，進而影響整機分析結(jié)果的準確性和可靠性，為此監(jiān)測氣體質(zhì)量流量控制器中的流量變化十分有必要。

作為工業(yè)計量中重要的元器件，氣體質(zhì)量流量計/控制器目前仍以進口為主，國產(chǎn)化替代需求迫切。不同于傳統(tǒng)的差壓、渦街等原理的體積型流量計，MEMS氣體質(zhì)量流量計是采用熱擴散原理進行高精確測量，即使是微小氣體也能精確測量，在全球被廣泛使用。為此IST流量傳感器在MFC中的應(yīng)用工采網(wǎng)推薦瑞士IST 質(zhì)量流量傳感器 - FS5.0.1L.195的升級版IST-AG FS7流量傳感器。




FS5.0.1L.195是一個熱質(zhì)流量傳感器,用于各種氣流應(yīng)用.熱質(zhì)流量傳感器使用熱傳遞原則,確定流體的流率.隨著流體通過傳感器,熱質(zhì)由傳感器傳遞到媒體.此關(guān)序取決于流動速率.隨著流動增加,熱量被傳遞.通過了解媒體的溫度,即可通過為保持恒定溫度差的電壓補償量得出流速。

而相對于FS5.0.1L.195而言IST-AG FS7流量傳感器寬廣的測量范圍允許將傳感器直接置于被測氣路當中，免去復雜的旁路設(shè)計。傳感器具有陶瓷基底與鈍化玻璃層進行保護，具有良好的長期穩(wěn)定性。關(guān)于氣體質(zhì)量流量控制器中流量傳感器的應(yīng)用可參考《在質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用中IST流量傳感器的作用》一文。