是移動的，各種線路都拆下來了，沒有找到有破皮或者漏電

其實還有一個點就是輸入控制部分，是連續穩定的輸入信號還是啥靠比例控制的斷續信號。如果是頻率很高的輸入信號或串入了頻率很高的尖波也可能造成固態繼電器出現開關管流過的電流快速大幅波動。在響應速度允許的情況下輸入端并個濾波電容看看。
從你的描述看，可能是三相不平衡造成燒穿現象，假設純380V星型接線，可能未擊穿的那相有過熱局部短路的現象造成零點漂移使另兩相對零電壓升高，電壓升高除造成流經固態繼電器的電流增加，也可能輸入信號都出現漂移，使固態繼電器的開關管兩端電阻并不在低阻開關狀態而是在所謂的半導體放大態下，那么可能瞬間就會出現過壓擊穿。所以要么強制零線必須連接，并測量一下各相對零電壓是否有漂移現象。要么就是將加熱管抽出并用絕緣體架空然后再實驗。
特別是加熱管，容易出現因過熱造成加熱絲伸長碰觸到外殼金屬，當冷卻后卻無法測量出曾經短路過。

暈，三角型接法剛才沒看到。
那就檢測被燒穿兩相間的加熱管，從設備上拆下，將三根加熱管分別串入電流表后直接壓在380的電壓下觀察，