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        張平全
        為國出力的時(shí)候到了
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        樓主  發(fā)表于: 2020-07-12 05:42
        我們做的是晶體生長行業(yè)超高真空設(shè)備,需要在超高真空4.0E-11Torr環(huán)境內(nèi)把指甲大小,厚度約0.2mm產(chǎn)品加溫到800度左右,普通的發(fā)熱管,發(fā)熱片是不行的,如果有接觸到這類國外設(shè)備的朋友們,請?zhí)峁﹨⒖?br />由于眾所都知的原因,我們公司已承接到國家級的一個(gè)小技術(shù)項(xiàng)目開發(fā),在國外這是幾十年前就有的技術(shù),但國內(nèi)還處于空白狀態(tài),我們需要從零開始奮起直追,希望得到以下技術(shù)參考,謝謝

        由于在回復(fù)大家的信息過程 中,出現(xiàn)了多次360退出及信息被轉(zhuǎn)移的情況,有些信息我不再回復(fù)祥細(xì)技術(shù)內(nèi)容,請理解
        [ 此帖被張平全在2020-07-15 23:40重新編輯 ]
        kongxin268
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        1樓  發(fā)表于: 2020-07-12 06:18
        激光,電磁,超聲波。不知可用嗎?
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        zhuo610616
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        2樓  發(fā)表于: 2020-07-12 08:06
        頂起,雖然我不知道用什么材料,不過還是要頂一下
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        張平全
        為國出力的時(shí)候到了
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        3樓  發(fā)表于: 2020-07-12 10:23
        因?yàn)橐w加熱一只產(chǎn)品,激光加熱的論證我們沒有通過
        目前使用的是鎢絲加熱,但一旦升到450度左右,便有不良物質(zhì)析出,找了國際上正常供貨的能找到的不低于五六家,國內(nèi)也有五六家,最高5個(gè)9的純鎢絲,也在氣體分析儀上能讀出有足以影響到實(shí)驗(yàn)成敗的雜質(zhì),因此只能多管齊下,探索多條路子
        希望得到大家的提示幫助,集思廣益,
        書香伴侶
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        4樓  發(fā)表于: 2020-07-12 11:29
        固態(tài)加熱器或者石墨加熱器?測溫就用溫控探頭就好啦
        樓主留言:
        目前,夾具是石墨做的,鎧裝熱電偶放在夾具外面,測不準(zhǔn),同在大氣壓環(huán)境對比,估計(jì)差幾十度,
        產(chǎn)品為。。。。,普通熱電偶等接觸式測量是行不通的,因?yàn)榈竭_(dá)軟化點(diǎn)后,會破壞產(chǎn)品,是不可以接受的,目前用紅外線輔助測溫,但離理想精度太遠(yuǎn)了
        haiyouyang
        LabVIEW & C++
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        5樓  發(fā)表于: 2020-07-12 12:24
        連這都不知道,還做啥子真空設(shè)備!!!!!
        樓主留言:
        我們也有請,。。。。注廠,但還是沒有完全 解決
        yerong
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        6樓  發(fā)表于: 2020-07-12 13:05
        激光   電子束   渦流   超聲波  高頻感應(yīng)    微波
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        tkggtdkjpl
        工欲善其事,必先利其器!
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        7樓  發(fā)表于: 2020-07-12 19:20
        補(bǔ)充7樓    等離子加熱
        樓主留言:
        真誠感謝!
        電子束,射頻等我們都有試驗(yàn)體,這兩種方案對產(chǎn)品傷害很大,在顯微鏡下能看到,微觀上對光潔的產(chǎn)品表面造成不可再用的后果,當(dāng)然溫度也就400多度,我們的目標(biāo)是產(chǎn)品表面加熱而不是產(chǎn)品整體加熱,所有目前使用的是熱輻射加溫,對流不可以用的,腔體已經(jīng)達(dá)到外太空一樣的潔凈度環(huán)境,已試驗(yàn)偶 然能成功,但無法確保穩(wěn)定重復(fù),一直無法突破,從目前文獻(xiàn)上來看,。。。。。,再加上已知僅氬氣,氦氣對產(chǎn)品無聲無害,
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      6. 自動化單機(jī),生產(chǎn)線,項(xiàng)目編程調(diào)試!
        張平全
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        8樓  發(fā)表于: 2020-07-12 20:57
        按目前的情況來看,加 溫:有生產(chǎn)5個(gè)9以上高純度的鎢絲供應(yīng)商是個(gè)不錯的消息,但一定有比這更優(yōu)的加溫方案
                                        測 溫:能優(yōu)于穿透藍(lán)寶石鍍膜石英玻璃窗口的紅外線測溫方法是最優(yōu)先選擇之一
        honggun
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        9樓  發(fā)表于: 2020-07-12 23:17
        加熱的空間多大?一次加熱一片還是一次加熱很多片?
        樓主留言:
        加熱是個(gè)半圓柱體,腔體內(nèi)空間直徑500毫米,高度約400毫米,搭建的是六個(gè)工位,但都沒有成功的痕象,包括使用機(jī)器視覺測量晶體狀態(tài)的技術(shù)手法都使用了,我們參與后,在原有模式下,我們僅使用一個(gè)工位,做出了OK品,但重復(fù)比例不高,很多是著急,就是無不精確加熱控溫,團(tuán)隊(duì)目前受困于加熱材料和測溫手法,期待你更多的支特
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        wei0212007
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        10樓  發(fā)表于: 2020-07-13 08:08
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        張平全
        為國出力的時(shí)候到了
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        11樓  發(fā)表于: 2020-07-14 04:57
        這個(gè)技術(shù)在涉及到直徑2厘米。。。。。。。。。砷化鎵外延片和玻璃的鍵合行業(yè)有國外進(jìn)口的配套工藝在國內(nèi)生產(chǎn)中使用,如果有參考消息,也可以私信我,謝謝
        另外,告之大家,電子束的加熱方法不可用,我們有64到128束的電子束加溫設(shè)備,一整套這樣的加熱器連成真空腔體等近千萬,事實(shí)證明,不是有錢就可以堆出來的,理論很簡單,實(shí)現(xiàn)不容易
        [ 此帖被張平全在2020-07-20 23:02重新編輯 ]

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