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					級別: 探索解密
        
					
					

					
						
							
							
        							
							精華主題:

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							發帖數量: 26 個
        
							工控威望: 184 點
        
							下載積分: 719 分
        

							在線時間: 7(小時)
        

							注冊時間: 2007-08-06
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                        樓主 

					
					發表于: 2011-05-19 23:43

					
					
        
				
        
				
        


				
        
				
        

					
        


				
        一種用于半導體硅片擴散源噴涂的設備程序。分XY軸，使用步進電機。三菱PLC。
        
			        		
		
        
		
        
			
				
        

					
        
					
附件：   噴源機.rar (10 K) 下載次數:272

					
        

					
        

				
        
				
        

				
        
					
        
					

					
					
          

					


					
        

					
        
				
        
			        		
		
        
	
        

        



        


        





        








        

        

        


        

        




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