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					 於汝彪 
					
        
				
        

				
        
					
        
						
        
							

								

							
							
						
        
					
        
				
        
				
        
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                        樓主 

					
					發表于: 2012-10-30 13:28

					
					
        
				
        
				
        


				
        
				
        

					
        


				
        現在我在做一個需要抽真空機器，其中真空泵組是由一個油泵和一個羅茨泵組成的，在工作工程中壓力需保持在20……30pa，工作中需要兩次進氣。要求在工作工程中壓力需保持在20~30pa，羅茨泵由變頻器控制，油泵直接接電源的。請問大俠們這個PID怎么控制，現在能穩定，但是進氣時波動比較大
        
			        		
		
        
		
        
			
				
        

					
        

				
        
				
        

				
        
					
        
					

					
					
          

					


					
        

					
        
				
        
			        		
		
        
	
        

        




        
	
        
		
        
			
				
        
					

					
					 liangtison 
					
        
				
        

				
        
					
        
						
        
							

								

							
							
						
        
					
        
				
        
				
        
					級別: 家園�？�
        
					
					

					
						
							
							
        							
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                        1樓 

					
					發表于: 2013-04-18 22:50

					
					
        
				
        
				
        


				
        
				
        

					
        


				
        進氣的控制可以采用MFC穩定充氣量，同時對羅茨泵的轉速進行PID控制（根據真空度）
        
			        		
		
        
		
        
			
				
        

					
        

				
        
				
        

				
        
					
        
					

					
					
          

					


					
        

					
        
				
        
			        		
		
        
	
        

        



        


        





        








        

        

        


        

        




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