目前隨著科學技術的發展，實驗室儀器的增加，需要用到各種氣體，其中包含易燃易爆、有毒、腐蝕性等氣體，因為在該氣體存放在室內(儀器房間)有較大的安全隱患，使用不當就會造成爆炸及人員傷亡，因此需要移動式防爆供氣柜。


移動式防爆供氣柜用于對易燃易爆、有毒、腐蝕性氣體的安全存儲及使用，具有更強的安全性，便于氣源部分的通風以及存放，氣瓶的更換也不需要運送到樓層內進行換置，移動式防爆供氣柜能夠達到人瓶分離的效果，以保障實驗室人員的安全的同時更加便捷了氣源的統一性管理。而對于防爆柜來說，吹掃(換氣)時間是一個相當重要的安全指標。

吹掃是指在防爆正壓柜起動前用保護性氣體充入正壓外殼內置換外殼內部的可燃性氣體的過程。掃結束后正壓外殼內充滿了保護性氣體，此時才允許對設備通電，啟動設備。吹掃(換氣)時間是指對正壓外殼充入5倍外殼(包括輸送管道)容積的保護性氣體量所需的時間。顯然，吹掃時間與充入正壓外殼的保護性氣體的壓力、流量有關。

在防爆機柜使用的過程中，為了確保安全，防爆機柜內通常需要安裝氣體泄放閥，然而普通的氣體泄放閥不具有防爆的功能。在使用的過程中，由于不能對釋放氣體的流量進行測量，在對換氣時間進行計算時，只能根據被保護柜體的容積大小和估計的流量進行人工計算，為了確保正壓防爆機柜的使用安全，需要在柜體內供應足夠的換氣量，而增加換氣量需要增加換氣的時間，柜體就需要較長的換氣時間，這樣就浪費了換氣時間，還浪費了氣體資源。因此需要安裝氣體流量計，工采網美國Siargo 便攜式氣體質量流量計 -MF5700是基于矽翔微機電系統有限公司自主研制的MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量。



該流量計同時實現熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態時，在傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布。一旦一定質量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理并作線性化處理。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布所產生的擾動不同，因而能測量氣體的質量流量或總流量。下圖為該系列流量計的原理框圖。



美國Siargo MF5700系列便攜式氣體質量流量計 參數：